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本發明公開了一種差分電容式微加速度計，它包括上移動板、下移動板和固定在上移動板和下移動板上的彈性梁，所述的上移動板和下移動板的兩個相對面上分別固定有上活動極板和下活動極板，所述的上移動板和下移動板之間還設置有固定極板，所述的固定極板為菱形。其優點是：結構簡單，制作工序簡單，且電容差值變化沿一定的規律變化，可簡化后續的信號處理電路。
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