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一種化合物半導體薄膜的制備方法

  • 2009101062589
  • 發明專利
  • 2009-03-31
  • 轉讓
  • C : 化學冶金
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    本發明屬于太陽能電池技術領域。本發明提供了一種化合物半導體薄膜的制備方法,其包括:在真空條件下,加熱蒸發源中的源材料,使其蒸鍍到基片上;所述基片繞其幾何中心,在所述基片所在的平面內旋轉,所述基片相對水平面傾斜。本發明所提供制備方法制出的化合...

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