一種三氯氫硅制備硅烷的方法
- 發(fā)明專利
- 2010-07-29
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- C : 化學(xué)冶金
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本發(fā)明屬于硅提純技術(shù)領(lǐng)域,具體公開了一種三氯氫硅制備硅烷的方法。該方法包括:(1)將三氯氫硅氣體與氫氣的混合氣體,通過20～100℃催化床,然后送入精餾塔分離出二氯氫硅氣體;(2)將步驟(1)得到二氯氫硅氣體與氫氣的混合氣體,通過20～80...
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